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日立高新纳米尺度3D光学干涉测量系统——VS180

2019-12-01 12:14

在中国开始销售利用光干涉原理进行非接触式无损伤三态测维表面形量的纳米尺度3D光学干涉测量系统“VS1800”,该产品搭配有支持多目的表面测量国际标准“ISO 25178*1参数对比工具”,通过简单而准确的样品测量支持客户的分析业务,与此同时,凭借不断创新积累的三维测量性能,实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。

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2019年3月5日,日立高新技术科学公司宣布,在中国开始销售利用光干涉原理进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学干涉测量系统——VS1800,通过分析工具和测量技术支持三维表面性状测量。据悉,VS1800于2018年年底在日本发布并销售,今日起,中国市场正式开始发售。

VS1800搭配有支持多目的表面测量国际标准“ISO 25178*1参数对比工具”,通过简单而准确的样品测量支持客户的分析业务,与此同时,凭借不断创新积累的三维测量性能,实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。

VS1800:通过分析工具和测量技术支持三维表面性状测量

产品开发背景

在半导体、汽车、食品、医药品等产业领域的材料研究和开发方面,为了提高产品的性能与功能,对产品表面的粗糙度、凸凹不平、翘曲等表面形状的评估变得尤其重要。以往,表面形态的测量方法,一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量。但近年来,伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速,需要能够获取更多的信息,传统测量手段受到限制。进而,采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量便得到了进一步灵活应用。

此外,2010年,三维表面形态评估的国际标准ISO 25178的制定,确立了评估方法,在此背景下,实施三维测量的企业和研究机构等日益增多。随之,表面形态测量上的测量与分析的简单化以及应对多种样品的测量等问题日益凸显,为解决这些测量问题,VS1800应运而生。

产品解决了哪些测量问题?

此次发售的VS1800, 搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具”。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数,但在对比样品时,选择最适合评估的参数很难,成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具”,通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出最适合对比样品的参数,从而支持客户的分析业务。

此外,VS1800通过光干涉方法*4,除了可实现大视野测量、0.01nm的垂直方向分辨率*4166.com,5、高重现性外,亦通过日立高新技术科学自主研发的技术,继承了多层膜的无损伤测量等传统产品的高测量性能。此外,该产品还可搭配“大倾斜角测量选配 ”*6功能,通过捕捉大倾斜角斜面的微弱的干涉条纹变化,实现传统的光干涉方式无法实现的大倾斜角斜面测量,从而应对多种多样的样品表面性状的三维测量。

至此,在表面分析系统解决方案方面,日立高新技术集团拥有了可实现极微细样品高分辨率测量的原子力显微镜、获得更大视野的扫描电子显微镜、高精度测量可能的VS1800等产品阵容,满足相关用户更广泛需求。

产品主要特点

高测量性能

■ 垂直方向分辨率:利用光干涉方法,通过独自的算法,实现0.01 nm*的垂直方向分辨率

■ 重现性:利用干涉条纹测量凸凹的高度,通过将来自Z驱动机构的影响最小化,实现0.1 %以下的重现性

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